事業或污水下水道系統應於水措設施設置完成後，排放廢（污）水於土壤前，填具土壤處理許可證申請表，並檢附下列文件，送地方主管機關審查：
一、基本資料表。
二、負責人身分證明文件影本。
三、主管機關或目的事業主管機關核發之相關許可、登記、執照或其他證明文件影本。但新設事業因目的事業主管機關訂有設立許可、試車會勘及登記之制度，而非以登記證明文件申請者，不在此限。
四、水措資料表及其相關書面文件，內容應包括：
（一）收集、輸送、前處理、排放、計量等相關資料、圖說。
（二）採樣、檢測、監測相關資料、圖說。
（三）緊急應變方法。
（四）相關設施及管線工程設計、圖說。
（五）水措設施設置完工及標示完妥之照片、證明文件。
五、土壤及地下水相關檢測報告。
六、中央農業主管機關所屬農業試驗單位、直轄市、縣（市）農業主管機關或其委託機關（構）之認定文件影本。
七、土地區段地籍資料影本及其所有人或管理機關（構）之同意文件影本。
八、委託處理者，其廢（污）水委託處理契約書影本。
九、廢（污）水前處理設施委託他人代操作者，該代操作者之資格證明文件影本。
十、水措設施設置於他人土地者，該土地所有人或管理人之同意文件影本。
十一、廢（污）水經土壤處理後，溢流至地面水體者：
（一）溢流水進入專用雨水下水道、灌溉渠道或私有水體者，應檢附管理機關（構）或所有人之同意文件影本。
（二）土壤處理後之溢流情形及其攔水渠之設置說明及照片。
十二、其他經地方主管機關指定之文件。
前項屬應先檢具水措計畫之事業，且依水措計畫核准內容建造、裝置者，申請土壤處理許可證，應填具申請表，並檢附下列文件：
一、水措計畫核准文件影本。
二、前項第四款第五目、第五款至第十二款之文件。