申請核發處理許可證者應檢具下列文件：
一、申請表。
二、政府機關核准登記證明文件。
三、負責人身分證明文件。
四、處理技術員合格證書、勞工保險被保險人投保資料表（明細）、任職證明文件及同意查詢勞保資料同意書。
五、同意設置文件。如依第三條第三項但書規定申請者，應檢附下列文件：
（一）廢棄物處理場（廠）之土地所有權狀、地籍資料及土地清冊；非自有土地者，並應附土地所有人或管理機關使用同意書。
（二）污染防治計畫書。
（三）廢棄物處理流程（含所產生污染物處理與排放）、設備及操作說明。
（四）廢棄物磅秤設備設置規劃。無法於廠區內設置磅秤設備者，得以鄰近同一關係企業之磅秤設備取代或由第三公證過磅單位進行過磅。
（五）錄影系統配置計畫。
六、建廠期間環境管理及定期監測報告。但第三條第三項但書規定之既有工廠或廢棄物處理設施、或屬於移動式廢棄物處理設施者，免附建廠期間定期監測報告。
七、含廢棄物種類來源、操作、紀錄與統計及質量平衡之試運轉報告。試運轉處理有害事業廢棄物者，並應檢附處理後衍生廢棄物之檢測相關紀錄。
八、收受廢棄物之允收標準。
九、含檢測項目、方法、頻率、數量之收受廢棄物及產出資源化產品品管規劃。
十、含各清除車輛營運進出、貯存區與處理設施進料、出料、操作、控制、監控之運作管理紀錄規劃。
十一、執行機關、處理機構或經政府機關核准處理廢棄物場（廠）同意處理其所產生廢棄物之證明文件。
十二、有關建築執照或使用執照。
十三、無法執行處理業務時，對其尚未處理完成之廢棄物處置計畫。
十四、自律切結聲明（如附件一）。
十五、以最終處置方式處理事業廢棄物者，應檢附封場復育計畫。
十六、其他經核發機關指定者。