一般許可文件或簡易許可之許可期限不得超過五年，首次核發一般許可文件之許可期限不得超過三年。但設置掩埋場最終處置設施或處理設施之自行或共同處理許可賸餘有效期限未滿五年者，其許可期限得縮短之。
前項許可期限屆滿後繼續提供處理設施餘裕處理容量者，應於許可期限屆滿前六個月至八個月內申請展延；每次展延之許可期限依前項之規定辦理。
核發機關應於受理前項申請後六十日內作成准駁決定；情形特殊者，其審查期間之延長以六十日為限。但應扣除經審查要求申請者補正資料之期間。申請文件不符規定或補正資料未能於核發機關要求之期限內補正，或雖於期限內補正，但補正不完全，經再次限期補正，仍補正不完全，或無法補正者，核發機關應於許可期限屆滿前駁回其申請。
於許可期限屆滿前六個月至八個月內申請展延者，核發機關應於許可期限屆滿日前作成准駁之決定。核發機關於其許可期限屆滿日尚未作成准駁之決定時，申請展延者於其許可期限屆滿後，至核發機關作成展延准駁決定之期間內，得依原許可文件內容辦理。
未於許可期限屆滿前六個月至八個月內申請展延者，核發機關於其許可期限屆滿日尚未作成准駁之決定時，應於許可期限屆滿日起停止收受及處理已進廠之廢棄物。
未於許可期限屆滿前申請展延者，於許可期限屆滿日起，其許可文件失其效力，如需繼續從事業務者，應重新申請許可。