淹水潛勢圖應由製作機關以召開審查會議或成立審查小組之方式辦理自主審查；出席審查者應包含防救災相關領域之專家、學者二人至四人。
淹水潛勢圖由經濟部製作者，應邀請轄管之河川分署及直轄市、縣（市）政府參加；由直轄市、縣（市）政府製作者，應邀請轄管之河川分署參加。淹水潛勢圖之範圍涉及水庫時，製作機關並得邀請轄管之水庫管理機關（構）參加。
第一項自主審查項目，依第四條第一項淹水潛勢圖製作手冊內容，包含基本資料蒐集、分析模式建構、檢定驗證方法、情境模擬成果、淹水潛勢圖公開應用之可行性、整體影響及因應措施等。
淹水潛勢圖經自主審查通過後，由製作機關將審查通過之圖資併同製作成果報告、自主檢核表及核可公文報請經濟部審議。