公私場所應完成設備元件建檔，並依下列規定進行設備元件洩漏檢查（測）：
一、輕質液泵浦應每週目視檢查其軸封處是否有製程流體滴漏。
二、重質液設備元件應每週目視檢查或以嗅聞、聽覺等其他簡易方法檢漏。
三、發現前二款有洩漏跡象者，應於二十四小時內進行檢測，以確認是否為洩漏源。
四、輕質液及氣體設備元件應每三個月檢測一次。
五、屬於難以檢測之重質液設備元件應每四年檢查一次，自中華民國一百十五年一月一日起應每一年檢查一次；屬於難以檢測之輕質液及氣體設備元件應每二年檢測一次，自一百十五年一月一日起應每一年檢測一次。
六、輕質液及氣體設備元件應每三個月檢測一次。但符合下列情形，並經地方主管機關核可者，得依下列規定變動檢測頻率。但違反第三十條規定者，應回復其原定之檢測頻率：
（一）連續六個月洩漏比例均小於百分之零點三者，得每六個月檢測一次。
（二）連續一年洩漏比例均小於百分之零點一者，得每一年檢測一次。
七、難以檢測之重質液、輕質液及氣體設備元件，連續二年洩漏比例小於百分之零點三者，並經地方主管機關核可者，得每二年檢測一次。但發生違反第三十條規定者，應回復其原定之檢測頻率。
八、氣體釋壓裝置裝設有密閉集氣系統連通至鍋爐或加熱爐之爐膛火焰區或其他使揮發性有機物削減率達百分之九十五之污染防制設備，得免檢測。
公私場所應委託依本法第四十九條取得中央主管機關核給許可證之檢驗測定機構檢測前項第三款至第七款設備元件之洩漏。
公私場所依第一項第一款至第五款進行設備元件檢查（測）有困難者，應報經地方主管機關核可後，得以其他檢查（測）方式替代或延長檢測頻率。