取得特定工廠登記者，位於本法第二十八條之十第一項第一款規定之群聚地區，優先採新訂都市計畫或開發產業園區規劃處理，依都市計畫法、區域計畫法、國土計畫法相關規定辦理土地使用分區變更或使用許可。
取得特定工廠登記者，非屬前項情形且位於都市計畫之土地，依都市計畫法規定辦理。
取得特定工廠登記者，非屬第一項情形，且位於都市計畫以外之土地，依下列規定辦理土地使用分區變更或使用地變更編定：
一、土地面積未達五公頃者，依本辦法規定提出用地計畫：
（一）未達二公頃者，辦理使用地變更編定為特定目的事業用地。
（二）二公頃以上未達五公頃者，依本辦法取得直轄市、縣（市）主管機關核定用地計畫後，併依非都市土地使用管制規則（以下簡稱管制規則）及非都市土地開發審議作業規範（以下簡稱審議規範）擬具開發計畫，取得開發許可核定，辦理土地使用分區變更為特定專用區、特定目的事業用地及適當使用地類別。
二、土地面積達五公頃以上者，依產業創新條例、管制規則及審議規範辦理土地使用分區變更為工業區，不適用本辦法規定。