主管機關對第五條第一項申請，應就下列事項審查之：
一、信託之設立確以公共利益為目的。
二、信託授益行為之內容確能實現信託目的。
三、信託財產確為委託人有權處分之財產權。
四、受託人確有管理或處分信託財產之能力，及信託財產管理或處分方法確屬妥適。
五、信託監察人確有監督信託事務執行之能力。
六、諮詢會成員具有與設立目的有關之專長或工作經驗。
七、信託事務計畫書及收支預算書確屬妥適。
公益信託之設立目的與其他公益目的事業主管機關業務相關者，主管機關於審查時，得徵詢各有關機關意見。
主管機關依前二項規定審查通過者，應發設立許可予受託人。
受託人未檢齊第一項規定文件，主管機關應通知限期補正，屆期未補正者，不予受理。