主管機關對於取得特定工廠登記者，得依下列規定辦理土地變更為適當使用分區或變更編定為適當使用地類別：
一、群聚地區優先採新訂都市計畫或開發產業園區規劃處理，依都市計畫法、區域計畫法、國土計畫法相關規定辦理土地使用分區變更或使用許可。
二、非屬前款情形且位於都市計畫以外之土地，由取得特定工廠登記者擬具用地計畫，就其工廠使用之土地，向直轄市、縣（市）主管機關申請核發特定工廠使用地證明書，辦理使用地變更編定。但因前款整體規劃之需要，直轄市、縣（市）主管機關得駁回其申請。
三、非屬第一款情形且位於都市計畫之土地，依都市計畫法規定辦理。
取得特定工廠登記者，依前項第二款規定辦理使用地變更編定前，應繳交回饋金予直轄市、縣（市）主管機關，撥交依農業發展條例第五十四條第一項規定設置之農業發展基金。
直轄市、縣（市）主管機關審查第一項第二款規定之用地計畫，得向申請人收取審查費。
第一項各款之核准條件，應符合都市計畫法、區域計畫法第十五條、第十五條之二、國土計畫法第二十六條規定，並得由各該法規主管機關基於輔導需求及安全之原則，檢討及簡化相關法規規定。
第一項第一款群聚地區之認定、第二款用地計畫之申請要件、應備書件、申請程序、申請面積限制、直轄市、縣（市）主管機關審查程序與基準、第二項回饋金之計算基準、第三項審查費收取基準及其他相關事項之辦法，由中央主管機關會商有關機關定之。