第三型再生能源發電設備設置者依前條第三項規定申請設備登記時，應依規定格式填具設備登記申請表與設備設置聲明書（如附件四），並檢附下列文件：
一、主管機關原核發之再生能源發電設備同意備案文件影本。
二、再生能源發電設備完工照片及平面配置圖。
三、再生能源發電設備支出憑證。
四、再生能源發電設備安裝廠商出具之裝置容量證明文件、產品型錄及設備序號電子檔案。
五、再生能源發電設備適用中華民國國家標準者，應符合該標準並取得商品檢驗主管機關認可之國內外檢驗機構或製造場所出具之證明文件。設備所適用之標準於國內未有檢驗機構或製造場所取得認可者，得以製造廠出具之測試報告替代。
六、依電業法及其相關規定有關承裝及施作之竣工試驗報告；如設置再生能源發電設備達一百瓩以上，符合電業設備及用戶用電設備工程設計及監造範圍認定標準者，應另檢附依法登記執業之電機技師或相關專業技師辦理設計與監造之證明文件及監造技師簽證之竣工試驗報告。
七、再生能源發電設備依建築法規定應取得之使用執照或特種建築物證明文件影本。有下列情形之一，則應檢附相應文件代之：
（一）依法令得免請領建造或雜項執照者，應檢附設置場址所在地主管建築機關之免建照或雜項執照同意備查函影本及竣工同意備查函影本。
（二）設置場址不適用建築法及其相關規定，且於該場址設置再生能源發電設備應經該場址目的事業主管機關核准者，應檢附該管目的事業主管機關確認設置完竣之證明文件。
（三）太陽光電發電設備依第七條之一規定辦理，或不適用建築法及其相關規定且經中央主管機關指定之情形者，應檢附依法登記開業或執業之建築師、土木技師或結構技師出具之太陽光電發電設備工程完竣證明書。
八、與公用售電業簽訂之購售電合約（無售電需求者，免附）及輸配電業核發之完成併網通知函或無併網證明文件。
九、任用主任技術員相關證明文件。但裝置容量未達五百瓩者，免附。
十、其他經主管機關指定之文件。
設置地熱能發電設備，應另檢附於有效期間內之水權登記證明文件。但未使用水源者，免附。
前二項申請文件不符規定者，主管機關得通知於三十日內補正；逾期未補正或補正不全者，駁回其申請。
主管機關就設備登記之審查，以書面審理為原則，必要時得派員或委託專業機構，或會同輸配電業至現場查驗，申請人不得拒絕、規避或妨礙；其設置情形經現場查驗與設備登記申請表所載不符者，得令申請人說明並限期改善。