廢氣燃燒塔之母火不可熄滅，且應使用獨立穩定之燃料系統。使用蒸氣輔助燃燒型式之廢氣燃燒塔，其蒸氣量與廢氣量之重量比應介於百分之十五至百分之五十。但因製程特性報經主管機關核可者，不在此限。
廢氣燃燒塔之設計及操作條件應符合下表之規定：
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│輔助燃燒型式 │總淨熱值（HT）與排放速度限值（V） │
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│蒸氣輔助燃燒型式│符合下列三者之一： │
│ │（1 ）HT≧12MJ/Nm3，V＜17m/sec │
│ │（2 ）HT＞40MJ/Nm3，17m/sec≦V＜114m/se │
│ │（3 ）40MJ/Nm3≧HT≧12MJ/Nm3， │
│ │ V＜Vmax且V＜114m/sec │
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│空氣輔助燃燒型式│HT≧12MJ/Nm3，V≦V’max │
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│無輔助燃燒型式 │符合下列三者之一： │
│ │（1 ）HT≧8MJ/Nm3，V＜17m/sec │
│ │（2 ）HT＞40MJ/Nm3，17m/sec≦V＜114m/sec │
│ │（3 ）40MJ/Nm3≧HT≧8MJ/Nm3， │
│ │ V＜Vmax且V＜114 m/sec │
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│HT：導入之廢氣總淨熱值，計算公式如下： │
│ HT=Σ1.8710-7CiHi；單位為 MJ（百萬焦耳）／Nm3 │
│Ci：導入之廢氣成分溼基排放濃度；單位為 ppm。 │
│Hi：導入之廢氣成分在凱氏溫度二百七十三度、一大氣壓下、一克莫│
│ 耳淨燃燒熱值；單位為 kcal/g-mole。 │
│V ：導入之廢氣排氣流量（單位為 Nm3/sec）除以廢氣燃燒塔頂端截│
│ 面積（單位為 m2 ）所得之排放速度，單位為 m/sec。 │
│Vmax：蒸氣輔助燃燒型式及無輔助燃燒型式廢氣燃燒塔之最大允許排│
│ 放速度，計算公式如下： │
│ Log10（Vmax）=（HT+29.9）/34.0；單位為 m/sec │
│V’max：空氣輔助燃燒型式廢氣燃燒塔之最大允許排放速度，計算公│
│ 式如下： │
│ V’max：8.112+0.615（HT） ，單位為 m/sec。 │
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