主管機關得依下列項目綜合評估執行成果，作為執行本辦法之績效：
一、技術研發成果之產出績效。
二、受補助者其研發管理制度建立及研發能量強化之執行成效。
三、創造新興高科技公司之廠商數及其經營實績。
四、提升我國產業資訊技術應用之國際地位。
五、產業創新技術及產值或附加價值提升之效益。
前項各款所需之資料，受補助者應配合提供。