申請處理機構同意設置文件應檢具下列文件：
一、申請表。
二、政府機關核准登記證明文件。
三、負責人身分證明文件。
四、廢棄物處理場（廠）之土地所有權狀、地籍資料及土地清冊；非自有土地者，並應附土地所有人或管理機關使用同意書。
五、工程計畫說明書。
六、污染防治計畫書。
七、廢棄物處理流程（含所產生污染物處理與排放）、設備及操作說明。
八、車輛進出口廢棄物磅秤設備（含地磅、電子式磅秤、吊磅或其他磅秤）設置規劃（含時間、重量、車號、駕駛員逐車紀錄及保存方式，並確保事後修改必留下修改紀錄之作業方式）。無法於廠區內設置磅秤設備者，得以鄰近同一關係企業之磅秤設備取代或由第三公證過磅單位進行過磅。
九、閉路電視錄影系統（以下簡稱錄影系統）配置計畫，不同管制類別錄影系統設置要求如附件二。
十、經環境影響評估審查通過之申請案，應列出定稿本中與廢棄物處理及相關污染防治之內容、審查結論。
十一、自律切結聲明（如附件一）。
十二、其他經核發機關指定者。