主管機關審查依前條第一項規定提出之申請，應包括下列審查項目：
一、開發計畫可行性。
二、發電設備規劃可行性。
三、經費配置合理性。
四、工作時程合理性。
五、履約能力（含財務狀況、財務計畫可行性及技術能力）。
經主管機關核准開發計畫及探勘獎勵金者，主管機關應以書面通知申請人，申請人於通知送達後取得探勘獎勵人資格。
開發計畫經主管機關核准後，不得變更。但探勘獎勵人有正當理由，經敘明理由並檢附證明文件向主管機關申准變更者，不在此限。
探勘獎勵人應於第二項通知送達後三十日內，與主管機關簽訂地熱能發電示範獎勵契約（附件六）。探勘獎勵人以籌備處名義簽約者，應於公司設立登記後三十日內，向主管機關申請並完成換約。逾期未完成者，主管機關應廢止探勘獎勵人資格。
探勘獎勵人應於地熱能發電示範獎勵契約簽訂之日起二年內，完成一口以上之探勘井鑽探作業，且符合開發計畫所載之預定深度，並檢具經應用地質技師簽證之鑽探資料（附件七）函報主管機關。
探勘獎勵人應於地熱能發電示範獎勵契約簽訂之日起五年內，完成設置地熱能發電設備，並取得電業執照或再生能源發電設備登記文件。但探勘獎勵人於完成探勘作業後，評估無開發實益而未繼續設置地熱能發電設備者，不在此限。
探勘獎勵人未能依限完成前項規定事項，如具正當事由，得於期限屆至前三十日內敘明理由並檢附證明文件，向主管機關申請展延。展延次數以一次為限，展延期限不得逾一年，但有不可抗力或不可歸責於探勘獎勵人之事由，且經主管機關同意者，不在此限。