事業申請自行處理許可者，應檢具下列文件向核發機關申請：
一、申請表。
二、政府機關核准登記之證明文件。
三、負責人身分證明文件。
四、專業技術人員合格證書、勞工保險被保險人投保資料表（明細）、任職證明文件及同意查詢勞保資料同意書。但經核發機關核定專業技術人員設置者，得以其核定設置文件代之。
五、廢棄物處理設施或設備及工具說明（應含處理方法、處理廢棄物種類、產生量及每月處理容量）。
六、有害事業廢棄物採熱處理者，應檢附依本法第三十六條第二項所定標準規定之相關文件。
七、處理後之廢棄物最終處置方式。
八、因故無法執行處理業務時，對其尚未處理完竣之廢棄物之處置計畫。
九、事業之處理設施不在廠區內時，應檢附廢棄物處理場（廠）之土地所有權狀、地籍資料及土地清冊；非自有土地者，並應附土地所有人或管理機關使用同意書。
十、其他經核發機關指定者。