招商獎勵人應依下列規定向主管機關申請撥付各期招商獎勵金，除有正當理由外，逾期未申請者，視為放棄請領：
一、第一期：前條第二項通知送達後三十日內，檢具應備文件（附件三）向主管機關請領招商獎勵金金額之百分之五十。
二、第二期：招商獎勵人與廠商完成簽約，於其發函通知廠商簽約完成之日起三十日內，檢具應備文件（附件三）向主管機關請領招商獎勵金金額之百分之三十。
三、第三期：廠商取得地熱能發電設備電業執照或再生能源發電設備登記文件之日起三十日內，檢具應備文件（附件三）向主管機關請領招商獎勵金之餘額，經主管機關核實後撥付。
前項各款應備文件內容如有疑義，主管機關得通知招商獎勵人限期提出書面說明、到場說明或進行其他必要程序。
招商獎勵金為實支實付，招商計畫執行結束時，如有剩餘，應全數返還主管機關。
招商獎勵人請領之招商獎勵金，應納入其年度預算。