本辦法分二階段獎勵：
一、規劃評估階段獎勵：完成規劃「原住民地區設置再生能源發電設備示範計畫」（以下簡稱示範計畫）及辦理相關推廣宣導活動，示範計畫內容如下：
（一）進行其所轄區域內具再生能源發展可行性之潛力場址調查、當地民眾意願調查、商業開發或自用發電經營模式、再生能源發電設備設置規劃（應含設置場址、設置類型、容量規模、每瓩設置成本估算及相關設備費用預估明細）等。
（二）採自用發電之示範計畫內容得增列儲能設備設置之規劃（應含設置類型、容量規模、每瓩時設置成本估算及相關設備費用預估明細）。
二、執行設置階段獎勵：依據規劃評估階段之示範計畫，於原住民地區設置之再生能源發電設備（或含儲能設備）。
各階段同一獎勵對象以申請一案為限。