本辦法獎勵如下：
一、示範機組設置獎勵：以本辦法公告當年度離岸風力發電躉購費率每瓩裝置容量期初設置成本百分之五十為上限，且不得超過示範機組設置總費用之百分之五十。
二、示範風場作業獎勵：以新臺幣二億五千萬元為上限。
前項所稱示範機組設置獎勵指為建置兩部可轉換風能為電能之發電機組，並能將產出電力引接應用或與電業併聯之整體設備系統所需之費用，包括發電機、變壓器、傳動軸、煞車裝置、齒輪箱、機艙轉向裝置、葉片、控制系統、輪轂、主軸、機艙罩、塔架、基礎工程及輸配電設施之費用。但不包括觀光步道或相關附屬設施費用。
第一項所稱示範風場作業獎勵指下列費用，但不包括漁業補償及地方回饋之費用：
一、示範風場場址評估及可行性研究之費用。
二、示範風場海氣象觀測塔規劃、設計及施工作業費用。
三、示範風場辦理環境影響評估（含生態調查及地質鑽探）等申請籌設作業費用。
四、示範風場申請籌設許可相關研究及行政作業費用。
五、本辦法發布生效日前之前四款作業費用經中央主管機關認定者。
六、示範機組配合辦理技術示範展示及推廣展示活動作業費用。
七、其他經中央主管機關認定之作業費用。
受獎勵人辦理示範機組或示範風場相關採購，受獎勵金額占採購金額半數以上，且受獎勵金額在公告金額以上者，應依政府採購法相關規定辦理。