未登記工廠申請補辦臨時工廠登記時，應於一百零四年六月二日前檢附下列文件，向工廠所在地之地方主管機關提出申請，供第一階段審查：
一、臨時工廠登記申請書。
二、第三條所列於九十七年三月十四日前從事物品製造、加工之證明文件。
三、主要產品製造流程圖。
四、公司或商業登記證明文件。
五、工廠負責人身分證影本；如為華僑或外國人，檢附在臺設定居所證明文件。
六、建築物配置平面簡圖及建築物面積計算表；如領有使用執照者，必要時，併附使用執照清冊。
七、最近三個月內土地登記簿謄本及地籍圖謄本，其比例尺不小於一千二百分之一。但能以電子處理方式取得者，免予檢附；如為都市計畫範圍內之土地，另檢附土地使用分區證明。
八、廠地位置圖（套繪於二萬五千分之一經建版地形圖，標示出廠地位置）及土地使用現況配置圖（另附土地清冊及現場照片）。
九、機器設備配置圖（加註使用電力容量、熱能），得與第六款之建築物配置平面簡圖合併繪製。
十、建築物或廠地非自有者，檢附所有權人同意書或租賃契約；如建築物或廠地屬國有者，檢附申請人與財政部國有財產署各分支機構訂定之國有基地租賃契約書。
十一、其他中央主管機關規定之文件。