依本辦法申請示範獎勵者，其所設置地熱能發電系統之地熱井，指本辦法中華民國一百零七年五月二十三日修正之條文生效後完成鑽探之地熱井。
本辦法獎勵之方式，為補助地熱能發電系統開發所需之下列地熱能探勘費用：
一、地表調查費用：包括地質、地球物理及地球化學之費用。
二、地熱井鑽鑿、生產套管、產能試驗與井頭閥門設施及施作費用。
示範獎勵金額之計算，每一申請案獎勵金總額不得超過地熱能探勘費用之百分之五十，且以新臺幣一億元為上限。
探勘後續進行地熱能發電者，補助每千瓦之獎勵金額不得超過每千瓦實際探勘費用與申請年度公告地熱能發電躉購費率採用之每千瓦產能探勘及鑽井成本參數之差額。