有害事業廢棄物應以封閉掩埋法處理，其設施除依第三十二條第二款至第六款及第三十四條第一項第一款、第四款、第五款規定外，並應符合下列規定：
一、掩埋場應有抗壓及抗震之設施。
二、掩埋場應舖設進場道路，其寬度為五公尺以上。
三、應有防止地面水、雨水及地下水流入、滲透之設施。
四、掩埋場之周圍及底部設施，應以具有單軸抗壓強度二百四十五公斤／平方公分以上，厚度十五公分以上之混凝土或其他具有同等封閉能力之材料構築。
五、掩埋面積每超過五十平方公尺或掩埋容積超過二百五十立方公尺者，應予間隔，其隔牆及掩埋完成面以具有單軸抗壓強度二百四十五公斤／平方公分、壁厚十公分以上之混凝土或其他具同等封閉能力之材料構築。
六、依有害事業廢棄物之種類、特性及掩埋場土壤性質，採防蝕、防漏措施。
七、掩埋場底層，應以透水係數低於 10-7 公分／秒，並與廢棄物或其滲出液具相容性，厚度六十公分以上之砂質或泥質黏土或其他相當之材料做為基礎，及以透水係數低於10-10公分／秒，並與廢棄物或其滲出液具相容性，單位厚度○‧二公分以上之人造不透水材料做為襯裡。
八、應有收集及處理滲出液之設施。
九、其他經中央主管機關公告之事項。
封閉掩埋場設置下列連續三層設施者，不受前項第四款、第五款及第七款之限制：
一、掩埋場底層及周圍設施覆以透水係數低於 10-7 公分／秒、厚度九十公分之黏土，再覆以單位厚度○‧○七六公分以上雙層人造不透水材料。
二、中層須覆以透水係數大於 10-2 公分／秒、厚度三十公分以上之細砂、碎石或其他同等材料並設置滲出液偵測及收集設施，再覆以透水係數低於 10-7 公分／秒、厚度三十公分黏土層。
三、上層須覆以透水係數大於 10-2 公分／秒、厚度三十公分以上之細砂、砂石或其他同等材料，並設置滲出液收集設施，再覆以厚度三十公分砂質或泥質黏土。