半導體製造業空氣污染管制及排放標準§3-全國法規資料庫

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條文內容

法規名稱：	半導體製造業空氣污染管制及排放標準 EN
法規類別：	行政＞環境部＞大氣環境目

※歷史法規係提供九十年四月以後法規修正之歷次完整舊條文。

※如已配合行政院組織改造，公告變更管轄或停止辦理業務之法規條文，請詳見沿革

第 3 條

（因條文排版無法完整呈現內容，請詳閱完整條文檔案）

本標準適用於半導體製造業。但半導體製造業原（物）料年用量小於下表所列者，該項物質不適用本標準之規定：