公私場所廢氣燃燒塔有下列情形之一者，得檢具相關證明文件，報經直轄市、縣（市）主管機關核可後，依下列規定辦理：
一、已申報中華民國九十九年所有廢氣燃燒塔處理廢氣流量總計低於五百萬立方公尺且無觸媒或吸附劑之再生或活化，亦未經冷凝循環回收或煅燒處理後之排放者，無須設置具顯示總淨熱值之廢氣成分及濃度監測設施。
二、廢氣燃燒塔具顯示總淨熱值之廢氣成分及濃度監測設施，其應量測項目無法以連續自動監測設施監測者，無須監測該成分。
三、審查通過之廢氣燃燒塔使用計畫書中載明之具顯示總淨熱值之廢氣成分及濃度監測設施之高反應性揮發性有機物質未超過附錄九所列之監測門檻者，無須監測該成分。
四、公私場所處理廢氣之含硫成分組成以硫化氫為主者，總還原硫監測設施得僅監測硫化氫量測項目。
公私場所廢氣燃燒塔於公告前經直轄市、縣（市）主管機關核可免設置監測設施或免監測量測項目與成分者，不須依前項規定再次申請核可。