三等三角測量誤差界限如左：
一、三角形閉合差平均值，最大不得超過五秒。
二、位置閉合差不得超過一萬分之一。
三、水平角每測回觀測值與平均值相差不得超過五秒。
四、垂直角之較差不得超過二十秒。
五、方位角觀測之標準誤差，應小於一．七秒。
六、水平角測回平均值之標準誤差不得超過二秒。
七、方位角各測回觀測值與平均值較差不得超過六．○秒。