本規則用詞定義如下：
一、高放射性廢棄物最終處置設施（以下簡稱高放處置設施）：指位於地表下適當之深度及地質環境，能長期將放射性核種與生物圈安全隔離之設施，包括相關地表與地下坑道處置作業區之建物、結構體與設備，以及隔絕高放射性廢棄物之地下處置區域。
二、處置母岩：指放置高放射性廢棄物之地質岩體。
三、多重障壁：指高放處置設施用以隔離或遲滯放射性核種瀝濾、洩漏與遷移，包括廢棄物本體、盛裝容器、緩衝與回填材料，以及地層等工程及天然障壁之多重組合。
四、個人年風險：指高放處置設施每年發生意外事件之機率與關鍵群體中個人因該事件接受輻射劑量造成罹患致死癌症機率之乘積。
五、處置管制地區：指高放處置設施邊界範圍內之地表及其地表下層，而以適當標誌標示其設施邊界之區域。