本辦法用詞定義如下：
一、檢測：指由合格之人員以非破壞檢驗方式檢驗材料及銲道，以偵測缺陷之作業。通常係指超音波檢測法、液滲檢測法、磁粒檢測法、渦電流檢測法、射線照相檢測法、目視檢測法等一種或多種檢測作業。
二、測試：指由合格之人員執行指定之功能及壓力試驗，以決定結構、系統及組件符合物理、化學、環境或運轉條件之要求。
三、監查：指為確保設計、安裝、檢測和測試符合規定所執行之作業。
四、查證：指運用文件審查、人員訪問、現場觀察等方式，以決定各項設計、安裝、檢測及測試作業，是否符合法令、規章及品質保證要求。
五、監查機構：指經主管機關認可而獨立執行興建或運轉期間核子反應器設施監查作業之機構。