地方主管機關審理土壤處理許可證，除應進行現場勘察外，並應邀請專家學者協助審查。但審理第十二條第一項規定事項者，不在此限。
依本法第六十三條第三項規定申請復工（業）者，地方主管機關應邀請專家學者協助審查。
第一項現場勘察項目如下：
一、土壤處理之適用土地區段、面積。
二、前處理設施單元之種類、尺寸、配置及相關機具設施。
三、輸送管線、溝渠。
四、水量計測設施。
五、廢（污）水排放於土壤前之採樣口位置及告示牌。
六、地下水監測井位置及數量。
七、土壤採樣位置及數量。
八、其他經地方主管機關認定必要之事項。
專家學者協助審查時，應考量下列事項：
一、符合本標準規定之水質限值。
二、土壤特性、地表坡度結構及地下水水位高度，均符合處理功能。
三、土壤處理之適用土地區段面積、年水力負荷、年污染物負荷及作業方式，足夠處理其年廢（污）水產生量，且不減低該土地區段持續處理廢（污）水之能力、不影響水體及土壤正常用途。
四、廢（污）水前處理設施及排水設施。
五、種植適當植被，及未有植被期間，應有防止地表雨水沖蝕之設施。
六、停止土壤處理期間之應變措施。
七、消除病媒孳生及減少惡臭應有之措施。