公私場所經直轄市、縣（市）主管機關審查核可之粒狀污染物不透光率監測設施應符合附錄一校正誤差、應答時間、訊號採集誤差及訊號平行比對誤差之性能規格；其氣狀污染物、稀釋氣體與排放流率監測設施應符合附錄二至附錄八相對準確度、準確度、應答時間、訊號採集誤差、轉化器效率、去除效率及訊號平行比對誤差之性能規格；廢氣燃燒塔監測設施應符合附錄九準確度、相關係數、應答時間、訊號採集誤差及訊號平行比對誤差之性能規格。

經直轄市、縣（市）主管機關審查核可之各項監測設施，其監測數據之計算處理與數據狀態判定規範應符合附錄十規定。