主管機關應會同直轄市或縣（市）政府審查申請案，並得邀集相關部會代表、專家及學者等七人至十一人組成審查會，就其計畫完整性（包含計畫可行性、技術能力、財務狀況與財務計畫可行性及工作期程合理性等事項）進行審查，並作成紀錄。
審查會之審查委員應親自出席審查會議，並有全體審查委員二分之一以上出席。
審查委員有下列情形之一者，應予迴避：
一、申請內容涉及本人、配偶、三親等以內之血親或姻親，或同財共居親屬之利益。
二、本人或其配偶與申請人於三年內有僱傭、顧問、委任或代理之關係。
三、經委員自認或主管機關認定有不能公正執行職務之虞。