雇主對於下列高壓氣體特定設備無法依規定期限實施內部檢查時，得於內部檢查有效期限屆滿前三個月，檢附其安全衛生管理狀況、自動檢查計畫暨執行紀錄、該設備之構造檢查合格明細表影本、構造詳圖、生產流程圖，緊急應變處置計畫、自動控制系統及檢查替代方式建議等資料，報經檢查機構核定後，延長其內部檢查期限或以其他檢查方式替代：
一、依規定免設人孔或構造上無法設置人孔、掃除孔或檢查孔者。
二、冷箱、平底低溫儲槽、液氧儲槽、液氮儲槽、液氬儲槽、低溫蒸發器及其他低溫或超低溫之高壓氣體特定設備。
三、內存觸媒、分子篩或其他特殊內容物者。
四、連續生產製程中無法分隔之系統設備者。
五、隔膜式儲槽或無腐蝕之虞者。
六、其他實施內部檢查困難者。
前項高壓氣體特定設備有附屬鍋爐或第一種壓力容器時，其檢查期限得隨同延長之。