取得特定工廠登記者，位於本法第二十八條之十第一項第一款規定之群聚地區，優先採新訂都市計畫或開發產業園區規劃處理，依都市計畫法、區域計畫法、國土計畫法相關規定辦理土地使用分區變更或使用許可。

取得特定工廠登記者，非屬前項情形且位於都市計畫之土地，依都市計畫法規定辦理。

取得特定工廠登記者，非屬第一項情形，且位於都市計畫以外之土地，依下列規定辦理土地使用分區變更或使用地變更編定：

申請人應檢具下列文件一式八份，向土地所在地之直轄市、縣（市）主管機關申請用地計畫核定：

前項第七款至第十一款文件，得檢送取得特定工廠登記時經各法規主管機關審查核定且在有效期限內之計畫、審查許可或完工證明等文件。但有下列情形之一，經各該法規主管機關認定須依用地計畫內容重新審查者，申請人應重新提送該文件：

直轄市、縣（市）主管機關受理申請後，審查申請文件欠缺或不符規定者，應以書面通知申請人限期補正；屆期未補正或無法補正者，應敘明理由駁回之。

申請案件有不符合第三條各款規定者，應予駁回。

申請案件無前二項情形者，應將申請文件分送地政、工務（建設、建築管理）、農業、環境保護、水利及變更前目的事業等主管機關或單位，並會同實地勘查、審查後簽核具體意見於審查表。審查期間以三個月為限；必要時，得延長三個月，並以一次為限，但申請人補正期間不計入審查期間。直轄市、縣（市）主管機關如因申請案數量眾多，有延長審查期限之必要者，得報請中央主管機關同意延長之。

用地計畫涉及環境影響評估、水土保持、用水計畫等事項，得採併行審查方式辦理。

直轄市、縣（市）主管機關應於用地計畫核定前，確認申請人已提出下列完成廢（污）水排放計畫之證明文件；文件欠缺或不符規定之處理，準用第一項規定：

申請人所提用地計畫之土地位於群聚地區，且經主管機關規劃採新訂都市計畫或開發產業園區區位時，直轄市、縣（市）主管機關得駁回其申請。

用地計畫留設之隔離綠帶或設施範圍內，有應拆除之既有建築物或其他不符合規定之使用情形，經載明拆除位置、寬度及範圍，並檢附申請人及土地所有權人出具之隔離綠帶或設施拆除切結書者，直轄市、縣（市）主管機關應於核定用地計畫時附加附款，明定申請人最遲應於申請廠房使用執照之前拆除及完成隔離綠帶或設施之設置，並取得農業用地變更使用同意文件，始得請領使用執照。

申請人未依核定之用地計畫完成前項附款事項者，直轄市、縣（市）主管機關應廢止用地計畫之核定、註銷核發之特定工廠使用地證明書，並將土地恢復原編定。

直轄市、縣（市）主管機關應於核定用地計畫時，依相關規定程序登錄於地政機關之土地參考資訊檔，同時副知當地建築主管機關管制其使用執照之申請。申辦廠房使用執照者，以用地計畫申請人為限，並應檢附勘驗合格通知文件。

申請人於隔離綠帶或設施留設完成後，應向直轄市、縣（市）主管機關申請勘驗。直轄市、縣（市）主管機關應於一個月內會同直轄市、縣（市）農業主管機關勘驗，並得邀集地政、建築主管機關會同辦理。

前項會勘如需改善者，應以書面通知申請人於三個月內改善完成並申請複勘。申請人屆期未改善或複勘不符合規定者，直轄市、縣（市）主管機關應依第二項規定辦理。

經勘驗合格後，直轄市、縣（市）主管機關應以書面檢附農業用地變更使用同意文件並通知申請人勘驗合格；申請人憑勘驗合格通知文件向當地建築主管機關申請使用執照。

申請人依核定用地計畫完成工廠登記後，應向直轄市、縣（市）主管機關申請刪除土地參考資訊檔參考事項內容，由直轄市、縣（市）主管機關依相關規定程序檢具刪除後之更新資料，送土地所在地地政事務所辦理更新。

直轄市、縣（市）主管機關核定用地計畫，應以書面載明回饋金應繳數額，並發給特定工廠使用地證明書，通知申請人向直轄市、縣（市）地政主管機關申辦使用地變更編定。

用地計畫應繳交之回饋金按申請用地變更使用總面積，依用地計畫核定當期公告現值百分之五十計算。但用地計畫核定範圍內，曾依森林法相關法規繳交回饋金者，就已繳交之山坡地開發利用回饋金數額得予扣除。直轄市、縣（市）主管機關收繳之回饋金，應撥交予農業發展條例第五十四條第一項規定設置之農業發展基金。

申請人應繳交之回饋金應於辦理使用地變更編定異動登記前全數繳交，或於辦理工廠登記前分期繳交，其分期繳交規定如下：

回饋金採分期繳交者，直轄市、縣（市）主管機關應於核定用地計畫時附加附款，載明申請人應依前項規定分期繳交回饋金，不受管制規則第二十六條及第二十九條限制；於第二期繳交期限前未完成使用地變更編定異動登記者，應依直轄市、縣（市）主管機關通知繳交全部回饋金；於辦理工廠登記前，有土地所有權移轉情事，應於辦理土地所有權移轉登記前繳清。

依第三項分期繳交回饋金時，申請人應以用地計畫申請範圍內全部土地作為擔保，如申請人非土地所有權人，應併取得土地所有權人同意，向土地所在地地政事務所辦理抵押權設定登記予直轄市、縣（市），經登記完畢，檢具土地登記謄本向直轄市、縣（市）主管機關申請繳交第一期回饋金。

回饋金採分期繳交者，應依下列規定辦理：

申請人依第三項或前項第二款第一目規定將回饋金全數繳交完畢後，應向直轄市、縣（市）主管機關申請刪除土地參考資訊檔參考事項內容，由直轄市、縣（市）主管機關依相關規定程序檢具更新資料，送土地所在地地政事務所辦理更新；並申請抵押權塗銷同意書，據以向土地所在地地政事務所申請抵押權塗銷登記。

申請人應於用地計畫核定次日起二年內，依核定用地計畫完成工廠登記。但申請面積達二公頃以上，需擬具開發計畫申請土地使用分區變更者，二年期間於開發許可核定次日起算。

申請人未於前項所定期限內完成工廠登記，應向直轄市、縣（市）主管機關申請展延；其申請展延之期限總計不得超過二年，且不得逾中華民國一百二十九年三月十九日；逾期未完成工廠登記者，用地計畫核定失效。

經核定用地計畫之土地，直轄市、縣（市）主管機關應檢查土地使用情形。有下列情形之一者，除第八條及第九條另有規定外，應以書面通知限期改善；屆期未改善者，得廢止其用地計畫之核定：

申請人辦理工廠登記前，有下列情形之一者，直轄市、縣（市）主管機關應廢止其用地計畫之核定：

有前條第二項後段用地計畫核定失效及前二項廢止用地計畫核定之情形者，直轄市、縣（市）主管機關應註銷其特定工廠使用地證明書並通知直轄市、縣（市）地政主管機關依據管制規則第三十七條規定辦理。但第八條及第九條另有規定者，依其規定。

用地計畫經核定後，如需變更用地計畫內容，限於原核定變更編定之用地範圍內，應檢具變更用地計畫，向直轄市、縣（市）主管機關提出申請用地計畫變更。

前項審查，依第七條第三項及第四項規定辦理。

申請用地計畫審查時，應繳交審查費；未繳交者，不予受理。

前項審查費，每件新臺幣一萬四千元。依據前條申請變更用地計畫，審查費每件新臺幣七千元。

申請人於繳納審查費後，有撤回申請或申請遭駁回者，審查費不予退還。但依第七條第六項規定駁回其申請者，審查費應予退還。