經補辦臨時登記之工廠屬低污染事業，且非屬本部公告不宜設立工廠者之第一項至第二十七項地區及所在地直轄市、縣（市）公告不宜設立工廠者，至遲應於中華民國一百十一年三月十九日前，在原臨時登記事項範圍內，向直轄市、縣（市）主管機關申請特定工廠登記。
依前項申請時，申請人應檢附下列文件：
一、臨時登記工廠申請特定工廠登記申請書。
二、最近一年內經查復非位於本部公告不宜設立工廠之第一項至第二十七項地區之下列文件：
（一）內政部國土管理署環境敏感地區單一窗口查詢平台查詢之環境敏感地區應免查範圍查詢文件。
（二）如有應查範圍者，則附應查範圍之查復文件或逕向各區位劃設主管機關申請之查復文件。
三、屬土污法第九條公告事業者，檢具土壤污染評估調查及檢測資料。但其產業類別、運作或營業用地範圍未有變更者，得檢附證明文件，申請免採樣檢測。
前項申請案有應檢附文件不齊全或其他應補正事項者，直轄市、縣（市）主管機關應通知申請人限期補正。申請人逾中華民國一百十一年三月十九日仍未補正者，應以書面駁回其申請。
直轄市、縣（市）主管機關審查期間如逾中華民國一百十一年三月十九日者，其通知補正期間不得超過三十日。
直轄市、縣（市）主管機關審查第一項申請案，除有第二十條應予以駁回之情形外，應通知申請人繳交特定工廠登記費用及依前條規定繳交營運管理金，辦理特定工廠登記。
前項審查期間以三個月為限。但申請人依第三項補正期間不計入審查期間。