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條文內容

法規名稱: 半導體製造業空氣污染管制及排放標準 EN
法規類別: 行政 > 行政院環境保護署 > 空氣品質保護目
第 3 條
本標準適用於半導體製造業。但原物料年用量小於下表所列者,該項物質
不適用本標準之規定:
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│原物料 │年用量 │
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│揮發性有機物│一七○○公斤/年│
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│三氯乙烯  │六○公斤/年 │
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│硝酸  │一七○○公斤/年│
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│硫酸  │三○○公斤/年 │
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│鹽酸  │一七○○公斤/年│
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│磷酸  │一七○○公斤/年│
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│氫氟酸 │一二○○公斤/年│
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