主管機關應邀請相關機關、專家學者召開會議辦理申請文件之審查，必要時得通知申請人到會說明。
前項審查會議之審查項目及審核基準，依申請載明事項應包含下列項目：
一、與第五條、第六條產業創新及研究發展項目之關聯性。
二、執行完成度或執行之可行性。
三、困難程度、解決方式或風險評估及因應方式之可行性。
四、執行效益數據或預期成果及效益之內容、量度及可能性。
五、績效衡量指標之達成度或適當性。
六、人力配置之妥適性。
七、經費分配之合理性。
申請案之審查，自申請人文件齊備之日起至審查完竣通知申請人之日止，不得逾四個月；必要時，得延長一個月。