司法院應於法官評鑑委員會每屆委員任期屆滿前，函請各級法院轉知法官得於公告之候選人登記期間內自行登記或由各級法院推薦為候選人，經審查資格後，公告票選之候選人名單。但候選人數未達應選人數二倍時，應再函請登記或推薦。
有意參選之調辦事法官，應向調辦事機關登記為候選人。但調派司法院、法官學院、法務部司法官學院辦事者，應向占缺法院登記為候選人。
司法院於確定候選人名單後，應指定投票日期並製作名冊及選票分送各級法院辦理投票。
各級法院法官，除受停止職務處分或留職停薪、帶職帶薪進修者外，均有投票權；投票時以秘密、無記名及單記法行之。
調辦事法官在調辦事機關投票。但調派司法院、法官學院、法務部司法官學院辦事者，在占缺法院投票，並得於投票前由占缺法院將空白選票送請調辦事法官圈選彌封後，送交占缺法院政風單位保管，再由人事單位於投票日會同政風單位將該選票投入票匭；前往占缺法院投票時，給予公假。
投票時間為投票日上午九時至下午三時止；各級法院應於投票結束後開票，並將開票結果陳報司法院。