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法規名稱:
半導體製造業空氣污染管制及排放標準
EN
法規類別:
行政 > 環境部 > 大氣環境目
※歷史法規係提供九十年四月以後法規修正之歷次完整舊條文。
※如已配合行政院組織改造,公告變更管轄或停止辦理業務之法規條文,請詳見沿革
第 4 條
(因條文排版無法完整呈現內容,請詳閱
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半導體製造業產生之空氣污染物應經密閉集氣系統收集,並應符合下表規定後始得排放:
前項硝酸、鹽酸、磷酸、氫氟酸及硫酸等排放之廢氣,因安全之虞而無法證明符合前項標準時,應檢具相關證明文件佐證具備同等處理效果或較優之控制條件,向直轄市、縣(市)主管機關申請替代認可。
資料來源:全國法規資料庫