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法規名稱:
半導體製造業空氣污染管制及排放標準
EN
法規類別:
行政 > 環境部 > 大氣環境目
※歷史法規係提供九十年四月以後法規修正之歷次完整舊條文。
※如已配合行政院組織改造,公告變更管轄或停止辦理業務之法規條文,請詳見沿革
第 3 條
(因條文排版無法完整呈現內容,請詳閱
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本標準適用於半導體製造業。但半導體製造業原(物)料年用量小於下表所列者,該項物質不適用本標準之規定:
資料來源:全國法規資料庫