公民營事業或興辦產業人規劃設置產業園區，應先洽當地直轄市、縣（市）主管機關勘選土地後，備具下列文件，提送直轄市、縣（市）主管機關；經都市計畫法或區域計畫法、環境影響評估法及其他相關法規之主管機關核准後，由中央主管機關核定設置。但其規劃屬本條例第三十三條第三項所定情形者，由直轄市、縣（市）主管機關核定設置，並報中央主管機關備查：
一、申請書。
二、產業園區地籍圖、平面配置圖、位置圖及地形圖。
三、土地清冊及第七條規定之文件。
四、洽當地直轄市、縣（市）主管機關勘選土地紀錄。
五、可行性規劃報告。
六、依都市計畫法或區域計畫法及環境影響評估法應提送之文件。
七、依其他相關法規應備置之書件。
直轄市、縣（市）主管機關將前項文件送請相關機關審查時，應併報中央主管機關備查。