半導體製造業空氣污染管制及排放標準§4-全國法規資料庫

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條文內容

法規名稱：	半導體製造業空氣污染管制及排放標準 EN
法規類別：	行政＞環境部＞大氣環境目

※歷史法規係提供九十年四月以後法規修正之歷次完整舊條文。

※如已配合行政院組織改造，公告變更管轄或停止辦理業務之法規條文，請詳見沿革

第 4 條

（因條文排版無法完整呈現內容，請詳閱完整條文檔案）

半導體製造業產生之空氣污染物應經密閉集氣系統收集，並應符合下表規定後始得排放：

前項硝酸、鹽酸、磷酸、氫氟酸及硫酸等排放之廢氣，因安全之虞而無法證明符合前項標準時，應檢具相關證明文件佐證具備同等處理效果或較優之控制條件，向直轄市、縣（市）主管機關申請替代認可。