低放射性廢棄物最終處置，應依下列規定：
一、A 類廢棄物應符合第五條之規定。A 類廢棄物與 B 類廢棄物或 C類廢棄物混合處置者，應符合B類廢棄物或C類廢棄物之相關規定。
二、B 類廢棄物應固化包裝，其廢棄物應符合第五條及第六條之規定。B類廢棄物與C類廢棄物混合處置者，應符合C類廢棄物之相關規定。
三、C 類廢棄物應固化包裝，其廢棄物除符合第五條及第六條之規定外，應加強處置區之工程設計，以保障監管後誤入者之安全。
四、超 C 類廢棄物非經主管機關核准，不得於低放處置設施進行處置。
不適合固化或固化後不符合第六條規定之 A 類廢棄物，應盛裝於設計使用年限至少能維持一百年結構完整之容器或封存於具相同容器功能之工程障壁中或以其他經主管機關核准之方法進行處置。
不適合固化或固化後不符合第六條規定之 B 類廢棄物及 C 類廢棄物，應盛裝於經主管機關核准之高完整性容器或以其他經主管機關核准之方法進行處置。