經核定用地計畫之土地，直轄市、縣（市）主管機關應檢查土地使用情形。有下列情形之一者，除第八條及第九條另有規定外，應以書面通知限期改善；屆期未改善者，得廢止其用地計畫之核定：
一、未依核定之用地計畫使用。
二、未於辦理工廠登記時一併檢附能源主管機關發給之太陽光電發電設備完成設置之證明文件。但經中央主管機關同意免予設置者，不在此限。
三、違反用地計畫核定函之附款。
申請人辦理工廠登記前，有下列情形之一者，直轄市、縣（市）主管機關應廢止其用地計畫之核定：
一、經直轄市、縣（市）主管機關依特定工廠登記辦法第二十三條廢止或撤銷其特定工廠登記。
二、因違反環保法規，經環境保護主管機關認定情節重大命令其停工或停業。
有前條第二項後段用地計畫核定失效及前二項廢止用地計畫核定之情形者，直轄市、縣（市）主管機關應註銷其特定工廠使用地證明書並通知直轄市、縣（市）地政主管機關依據管制規則第三十七條規定辦理。但第八條及第九條另有規定者，依其規定。