主辦機關於規劃收集清運服務區域，勘選建廠用地，並選擇辦理模式後，應檢附垃圾焚化廠預定計畫申請書及鄉（鎮、市）公所出具之垃圾委託焚化處理承諾書，依第六條規定程序層報本署提出申請。

主辦機關之申請經本署審查同意後，垃圾委託焚化處理承諾書應立即送服務區內鄉（鎮、市）民代表會同意；主辦機關應同時擬具垃圾委託焚化處理計畫書報請本署初核後，送請議會審議通過，再層報本署核定。

一、建廠用地應符合興建垃圾焚化廠土地使用分區規定並取得土地使用權證明資料。

二、所設置之垃圾焚化廠為中大型，並設有污染防治及汽電共生與輸配電設備，可兼具處理一般事業廢棄物之功能。

三、財務計畫合理，收支可達平衡。

垃圾委託焚化處理計畫書應包括項目如下：

一、用地取得狀況及用地條件。但採 BOO 模式者可免附。

二、計畫可行性評估。

三、財務計畫。

四、回饋設施計畫。但無回饋設施者免附。

五、其他本署指定之項目。