第一型再生能源發電設備設置者，於取得同意備案文件後，應檢附第十一條第一項第四款及第五款文件，並依電業法及其相關規定申請發電業執照；以取得發電業執照視同設備登記文件。
第二型再生能源發電設備設置者，於取得同意備案文件後，應檢附第十一條第一項第四款及第五款文件，並依電業法及其相關規定申請自用發電設備登記證；以取得自用發電設備登記證視同設備登記文件。
第三型再生能源發電設備設置者除屬自用且無躉售電能予公用售電業者應自同意備案之日起一年內外，應自與公用售電業簽約之日起一年內，完成第三型再生能源發電設備之設置及併網，並向主管機關申請設備登記；逾期未完成設置及併網，並申請設備登記或辦理展延者，得依第七條重新申請同意備案。
再生能源發電設備設置者未能於前項所定期限內完成者，得於屆期前二個月內，依規定格式填具展延申請表，並檢附相關文件（附件三），向主管機關申請展延，每次展延期間不得逾六個月；逾期未完成再生能源發電設備之設置、併網、申請設備登記或經核准展延者，其同意備案文件失其效力。
前項展延之申請，主管機關得視申請人之施工情形、技術進步幅度及簽約費率審核之。