本標準依水污染防治法第七條第二項規定訂定之。

本標準專用名詞定義如下：
一、總毒性有機物：係指 1,2- 二氯苯、1,3-二氯苯、1,4-二氯苯、1,2,
4-三氯苯、甲苯、乙苯、三氯甲烷、1,2-二氯乙烷、二氯甲烷、1,1,
1-三氯乙烷、1,1,2-三氯乙烷、二氯溴甲烷、四氯乙烯、三氯乙烯、
1,1-二氯乙烯、2-氯酚、2,4-二氯酚、4-硝基酚、五氯酚、2-硝基酚
、酚、2,4,6-三氯酚、鄰苯二甲酸乙己酯、鄰苯二甲酸二丁酯、鄰苯
二甲酸丁苯酯、蒽、1,2-二苯基聯胺、異佛爾酮、四氯化碳及萘，計
三十種化合物之濃度總和。
二、新設事業：指事業於中華民國一百年十二月一日前尚未完成規劃者，
或已完成規劃，但尚未完成工程招標者。
三、既設事業：指事業於中華民國一百年十二月一日前已完成建造、建造
中或已完成工程招標者。

本標準適用對象為水污染防治法事業分類及定義公告列管之晶圓製造及半
導體製造業。

本標準規定水質項目及限值如附表。

事業及其所屬公會或環境保護相關團體得隨時提出具體科學性數據、資料
，供檢討修正之參考。

本標準所定之化學需氧量限值，係以重鉻酸鉀氧化方式檢測之。

本標準各項目限值，除氫離子濃度指數為一範圍且無單位外，均為最大限
值，其單位如下：
一、水溫：攝氏度（℃）。
二、其餘各項目：毫克／公升（mg/L）。

本標準各項目限值，除水溫及氫離子濃度指數外，事業自水體取水作為冷
卻或循環用途之未接觸冷卻水，如排放於原取水區位之地面水體，不適用
本標準。

事業有二種以上不同業別或同一業別有不同製程，其廢水混合處理及排放
者，應符合各該業別之放流水標準。相同之管制項目有不同管制限值者，
應符合較嚴之限值標準。各業別中之一種業別廢水水量達總廢水量百分之
七十五以上，並裝設有獨立專用累計型水量計測設施者，得向主管機關申
請對共同管制項目以該業別放流水標準管制。
前項廢水量所占比率，以申請日前半年之紀錄計算之。

本標準除另定施行日期者外，自發布日施行。