本辦法專用名詞定義如下：
一、受補貼機構：指依本辦法取得領取回收清除處理補貼資格之機構。
二、稽核認證量：指經稽核認證，得領取回收清除處理補貼費之應回收廢棄物數量。
三、補貼費率：指每單位稽核認證量之回收清除處理補貼金額。
四、補貼費：指依稽核認證量乘以補貼費率，所得之回收清除處理補貼金額。
五、再生料：指應回收廢棄物經回收處理後，經中央主管機關認定者，或其產出之廢棄物，符合下列規定之一者：
（一）依本法第三十九條規定進行再利用。
（二）依資源回收再利用法第十五條公告或經申請核准為再生資源項目。
六、有害物質：指有害事業廢棄物認定標準之廢棄物處理業製程產生之廢棄物所列成分。
七、處理效能：指處理應回收廢棄物之資源回收再利用比率及有害物質回收或去除比率。
八、資源回收再利用比率：指應回收廢棄物經處理後產出之再生料重量，占處理應回收廢棄物總量之重量百分比。
九、有害物質回收或去除比率：指應回收廢棄物經處理後，所回收或去除之有害物質重量，占處理應回收廢棄物所含有害物質總量之重量百分比。